拉晶炉及用于拉晶炉的真空泵控制系统

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专利状态

拉晶炉及用于拉晶炉的真空泵控制系统

有效

专利申请进度

申请

2021-07-23

授权

2022-04-05

预估到期

2031-07-23

专利基础信息

申请号	CN202121689712.0	申请日	2021-07-23
授权公布号	CN216198986U	授权公告日	2022-04-05
分类号	F04C28/08;F04C28/28;F04C23/00;F04C25/02;C30B15/20
分类	液体变容式机械；液体泵或弹性流体泵;
申请人名称	上海汉钟精机股份有限公司
申请人地址	上海市金山区枫泾镇亭枫公路8289号

专利法律状态

2023-09-26

著录事项变更

状态信息

著录事项变更；IPC(主分类):F04C 28/08；专利申请号:2021216897120；变更事项:发明人；变更前:盛晨艳；变更后:盛晨艳付娜陈峰陈俊宏赖庆峰
2022-04-05

授权

状态信息

授权

摘要

本实用新型公开了一种用于拉晶炉的真空泵控制系统及拉晶炉，该真空泵控制系统包括单片机控制板、强电控制系统、弱电控制系统、真空泵机组，所述真空泵机组包括变频器、电机和真空泵浦，其中所述真空泵浦具有前级泵和主泵；其中，所述强电控制系统电连接至所述真空泵机组，以便控制所述变频器、所述电机和所述真空泵浦的工作，并且其中，所述前级泵用于定频运行，所述变频器经由所述电机电连接至所述主泵，以便变频地驱动所述主泵运行。根据本实用新型的用于拉晶炉的真空泵控制系统及拉晶炉，有助于实现对炉压的适当且及时的控制，使得炉体压力恒定，同时降低设备成本，增加设备的使用寿命。

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