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专利状态
功能梯度的类金刚石碳薄膜及其制备方法和制品
有效
专利申请进度
申请
2016-08-08
申请公布
2016-12-21
授权
2018-11-13
预估到期
2036-08-08
专利基础信息
申请号 CN201610643595.1 申请日 2016-08-08
申请公布号 CN106244986A 申请公布日 2016-12-21
授权公布号 CN106244986B 授权公告日 2018-11-13
分类号 C23C14/32;C23C14/35;C23C14/46;C23C14/16;C23C14/02;C23C14/06
分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
申请人名称 珠海罗西尼表业有限公司
申请人地址 广东省珠海市高新区科技六路68号
专利法律状态
  • 2018-11-13
    授权
    状态信息
    授权
  • 2017-01-18
    实质审查的生效
    状态信息
    实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/32申请日:20160808
  • 2016-12-21
    公布
    状态信息
    公布
摘要
本发明涉及一种功能梯度的类金刚石碳薄膜及其制备方法和制品。该功能梯度的类金刚石碳薄膜的制备方法包括:(1)通过空心阴极电子束辅助脉冲偏压多弧离子镀在工件表面沉积金属基底层;(2)通过空心阴极电子束辅助脉冲偏压多弧离子镀在所述金属基底层的表面沉积金属氮化物过渡层;(3)通过脉冲偏压离子束辅助磁控溅射在所述金属氮化物过渡层的表面沉积碳化钨梯度层;(4)通过脉冲偏压离子束辅助磁控溅射在所述碳化钨梯度层的表面沉积类金刚石碳装饰层。本发明提供的制备方法制得功能梯度的类金刚石碳薄膜不仅具有高光泽度、高界面结合强度、高表面硬度的优点,并且耐磨损、耐腐蚀、防刮花性能优良。