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专利状态

一种曝光装置

有效

专利申请进度

申请

2023-05-08

授权

2023-12-08

预估到期

2033-05-08

专利基础信息

申请号	CN202321083097.8	申请日	2023-05-08
授权公布号	CN220154791U	授权公告日	2023-12-08
分类号	G03F7/20
分类	摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕;
申请人名称	芜湖长信科技股份有限公司
申请人地址	安徽省芜湖市中国（安徽）自由贸易试验区芜湖片区汽经二路以东

专利法律状态

2023-12-08

授权

状态信息

授权

摘要

本实用新型属于在半导体产品生产技术领域的曝光装置。灯源（1）前方设置小透镜（2）、小透镜（2）前方设置第一大透镜（3），第一大透镜（3）前方设置第二大透镜（4），第二大透镜（4）前方设置第一复眼（5），第一复眼（5）前方设置第二复眼（6），所述的灯源（1）为LED灯。本实用新型所述的曝光装置，结构简单，能够有效达到过滤不良光线的效果，确保光源的聚集力度保证光强到达生产要求，同时降低制造成本。

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