一种可提高曝光精度的曝光机

热门行业
装修建材
家居生活
餐饮食品
母婴教育
电脑办公
服装首饰
汽车工具
家电数码
机械化工
休闲美容

热门行业

教育培训
板材
地板
涂料
家纺
集成吊顶
美缝剂
木门
硅藻泥
管材
指纹锁
橱柜
衣柜
床垫
电热水器
集成灶
暖气片
净水器
酒店
卫浴

返回上一页

专利状态

一种可提高曝光精度的曝光机

有效

专利申请进度

申请

2023-03-27

授权

2023-09-26

预估到期

2033-03-27

专利基础信息

申请号	CN202320639377.6	申请日	2023-03-27
授权公布号	CN219758663U	授权公告日	2023-09-26
分类号	G03F7/20
分类	摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕;
申请人名称	信利光电股份有限公司
申请人地址	广东省汕尾市城区工业大道信利工业城一区第15栋

专利法律状态

2023-09-26

授权

状态信息

授权

摘要

本实用新型公开了一种可提高曝光精度的曝光机，其应用于曝光机，其包括掩膜组件，所述掩膜组件的顶面设有稳定机构；所述掩膜组件的一侧侧壁上固定设有间隙传感器；所述稳定机构包括一号稳定组件与二号稳定组件，所述一号稳定组件位于掩膜组件的一侧上方，所述二号稳定组件位于掩膜组件的另一侧上方。本实用新型在掩膜板的顶面贴合稳定机构，使得稳定机构的吸板在负压设备的作用下稳定吸附在掩膜板上，使得在掩膜板因重力导致下垂时，通过设置的间隙传感器检测后，通过控制设备控制稳定机构的驱动设备启动拉动吸板移动，从而拉动掩膜板的四角移动，从而对掩膜板的下垂量进行调整，调整方便，从而通过调整掩膜板的下垂量提高曝光机的曝光精度。

更多专利

全国服务热线：

在线客服

1211389656 咨询

商务合作

85926368 咨询

媒体合作

921888730 咨询

在线客服
客服微信号

品牌网官方客服微信

打开微信扫一扫

客服微信
商务合作微信

商务合作详谈

打开微信扫一扫

商务合作
回到顶部

在线客服

商务合作

媒体合作

客服微信号

商务合作微信