一种抛光载物台及抛光设备

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专利状态

一种抛光载物台及抛光设备

有效

专利申请进度

申请

2021-03-11

授权

2021-11-05

预估到期

2031-03-11

专利基础信息

申请号	CN202120511067.7	申请日	2021-03-11
授权公布号	CN214603776U	授权公告日	2021-11-05
分类号	B24B41/06;B24B29/04
分类	磨削；抛光;
申请人名称	浙江水晶光电科技股份有限公司
申请人地址	浙江省台州市椒江区星星电子产业区A5号（洪家后高桥村）

专利法律状态

2021-11-05

授权

状态信息

授权

摘要

本实用新型公开了一种抛光载物台及抛光设备，涉及抛光设备技术领域。抛光载物台包括负压装置和固定在负压装置上的吸附平台，吸附平台上设有贯穿吸附平台的吸孔组，吸附平台具有相对的第一表面和第二表面，第一表面呈弧形曲面，用于吸附待加工柱面亚克力，第二表面与负压装置之间形成负压腔，负压腔通过吸孔组吸附待加工柱面亚克力以将待加工柱面亚克力固定在第一表面上。上述抛光载物台为柱面亚克力提供了加工治具，采用真空吸附的方式将柱面亚克力贴合固定，操作更加便捷，不会在柱面亚克力表面形成痕迹，同时提高了柱面亚克力的抛光精度。

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