晶硅太阳能电池管式PECVD预热储舟装置及镀膜方法

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专利状态

晶硅太阳能电池管式PECVD预热储舟装置及镀膜方法

有效

专利申请进度

申请

2018-08-28

申请公布

2018-12-07

授权

2020-05-12

预估到期

2038-08-28

专利基础信息

申请号	CN201810989882.7	申请日	2018-08-28
申请公布号	CN108950514A	申请公布日	2018-12-07
授权公布号	CN108950514B	授权公告日	2020-05-12
分类号	C23C16/02;C23C16/34;C23C16/458;C23C16/46;C23C16/513
分类	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
申请人名称	无锡尚德太阳能电力有限公司
申请人地址	江苏省无锡市新吴区新华路9号、16号

专利法律状态

2020-10-23

专利申请权、专利权的转移

状态信息

专利权的转移；IPC(主分类):C23C 16/02；专利号:ZL2018109898827；登记生效日:20200929；变更事项:专利权人；变更前权利人:洛阳尚德太阳能电力有限公司；变更后权利人:无锡尚德太阳能电力有限公司；变更事项:地址；变更前权利人:471000 河南省洛阳市中国(河南)自由贸易试验区洛阳片区高新技术产业开发区华夏路；变更后权利人:214028 江苏省无锡市新吴区新华路9号、16号
2020-05-12

授权

状态信息

授权
2019-01-01

实质审查的生效

状态信息

实质审查的生效；IPC(主分类):C23C 16/02；专利申请号:2018109898827；申请日:20180828
2018-12-07

发明专利申请公布

状态信息

公布

摘要

本发明涉及一种晶硅太阳能电池管式PECVD预热储舟装置及镀膜方法，取消原储舟架，在原储舟架位置及同一直线上增加传动轨道A和传动轨道B，传动轨道B正上方装有预热储舟箱，传动托盘在两个轨道之间滑动。工作时，传动托盘先位于轨道A上，机械臂将石墨舟装到传动托盘上，传动托盘携带石墨舟运送至轨道B上装载到预热储舟箱内，在箱内利用等待空管的时间对石墨舟预热，同时利用空气中的氧气对硅片氧化，可节省刻蚀下料处的臭氧氧化工序，待有空管时，传动托盘及石墨舟被传送至轨道A上，之后进入空管镀膜。由于石墨舟已经提前预热并氧化，使镀膜工艺省去了原有的升温步骤，管内整个工艺周期缩短了13.7min左右，产量提升了50％。

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