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北方华创科技集团股份有限公司

北京市朝阳区酒仙桥东路1号

企业知识产权

品牌专利信息(11)
申请号	类型	专利
CN201611092596.8	发明专利	硅片清洗的调度方法及调度系统
CN201610101512.6	发明专利	一种提高晶片腐蚀均匀性的装置及方法
CN201510010027.3	发明专利	一种晶片夹持装置
CN201610564980.7	发明专利	半导体设备工艺运行状态的管理及管理装置
CN201310750547.9	发明专利	气体质量流量控制系统
CN201610739227.7	发明专利	一种组合式多频率超声波/兆声波清洗装置
CN201510698073.7	发明专利	一种具有去除静电作用的清洗装置和清洗方法
CN201510431795.6	发明专利	一种清洗液体收集装置
CN201610741151.1	发明专利	一种能量均匀分布的超声波/兆声波清洗装置
CN201510627963.9	发明专利	一种改善晶圆腐蚀非均匀性的装置和方法
CN201610739229.6	发明专利	一种频率动态变化的超声波/兆声波清洗装置

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