用于硬脆性材料超精研磨的水性研磨液及其使用方法

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专利状态

用于硬脆性材料超精研磨的水性研磨液及其使用方法

有效

专利申请进度

申请

2011-04-26

申请公布

2012-01-11

授权

2014-04-30

预估到期

2031-04-26

专利基础信息

申请号	CN201110105589.8	申请日	2011-04-26
申请公布号	CN102311718A	申请公布日	2012-01-11
授权公布号	CN102311718B	授权公告日	2014-04-30
分类号	C09K3/14;B24B37/04
分类	染料；涂料；抛光剂；天然树脂；黏合剂；其他类目不包含的组合物；其他类目不包含的材料的应用;
申请人名称	安美科技股份有限公司
申请人地址	广东省东莞市松山湖科技产业园区工业西路6号

专利法律状态

2017-03-22

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

状态信息

专利权人的姓名或者名称、地址的变更；IPC(主分类):C09K3/14；变更事项:专利权人；变更前:东莞市安美润滑科技有限公司；变更后:安美科技股份有限公司；变更事项:地址；变更前:523808 广东省东莞市松山湖科技园工业西路6号；变更后:523808 广东省东莞市松山湖科技产业园区工业西路6号
2014-04-30

授权

状态信息

授权
2012-03-07

实质审查的生效

状态信息

实质审查的生效；IPC(主分类):C09K3/14；申请日:20110426
2012-01-11

公布

状态信息

公布

摘要

本发明公开了一种用于硬脆性材料超精研磨的水性研磨液及其使用方法，研磨液包括螯合剂0.1-5、pH值调节剂5-15、悬浮剂0.2-5、分散稳定剂0.5-10、润滑剂5-20、防锈剂0.5-5、防腐杀菌剂0-2、消泡剂0-2和补足100份总量余量的去离子水；本发明在碱性条件下，有利于对各种规格磨料，具有良好的悬浮性和分散稳定性，解决了各种不同硬脆性材料特别是高硬度材料的高精度研磨，不易产生划痕和腐蚀坑等缺陷，且研磨速率高，后续清洗方便；与磨料混合配合使用，具有优异的润滑性能和防锈性能，在48h内，混合液颜色均一，无沉淀，在研磨机上对晶片进行研磨，研磨后用水超声清洗，晶片表面光洁度好，无划痕和腐蚀坑等缺陷，表面粗糙度可达到2微米以内。

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