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专利状态
光学检测系统及光学检测装置
有效
专利申请进度
申请
2022-05-06
授权
2022-09-27
预估到期
2032-05-06
专利基础信息
申请号 CN202221055010.1 申请日 2022-05-06
授权公布号 CN217505680U 授权公告日 2022-09-27
分类号 G01N21/88;G01N21/01;G01J3/28
分类 测量;测试;
申请人名称 苏州华兴源创科技股份有限公司
申请人地址 江苏省苏州市工业园区青丘巷8号
专利法律状态
  • 2022-09-27
    授权
    状态信息
    授权
摘要
本实用新型公开了光学检测系统及光学检测装置,其中,光学检测系统包括:承载台,照明单元,用于向待测物出射入射光束,沿入射光束的传输路径照明单元包括依次设置的光源模块、变光模块和物镜;变光模块包括遮光板,遮光板用于将进入物镜前的入射光束衍射形成环形入射光;成像单元,用于采集待测物的图像,沿出射光束的传输路径成像单元包括依次设置的物镜、滤光器、聚光透镜和图像采集模块;滤光器用以在出射光束进入图像采集模块前滤掉出射光束中的反射光。本实用新型无需在显微检测设备的侧向设置暗场光源,避免了对显微检测装置侧向空间的占用,可以实现高功率光源的配备,提升暗场成像效果。