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专利状态

上下料装置

有效

专利申请进度

申请

2020-06-18

申请公布

2020-10-13

授权

2023-07-14

预估到期

2040-06-18

专利基础信息

申请号	CN202010558388.2	申请日	2020-06-18
申请公布号	CN111769064A	申请公布日	2020-10-13
授权公布号	CN111769064B	授权公告日	2023-07-14
分类号	H01L21/677
分类	基本电气元件;
申请人名称	无锡先导智能装备股份有限公司
申请人地址	江苏省无锡市无锡高新技术产业开发区新洲路18号先导二厂

专利法律状态

2023-07-14

授权

状态信息

授权
2020-10-30

实质审查的生效

状态信息

实质审查的生效；IPC(主分类):H01L21/677；申请日:20200618
2020-10-13

公布

状态信息

公布

摘要

本申请公开了一种上下料装置，包括沿竖直方向设置的物料输入机构和物料输出机构，以及能够沿竖直方向运动的中转机构；通过中转机构，能够衔接花篮的上下料；上下料装置还包括搬运机构，能够从中转机构运输的花篮中取出待处理的硅片、并能够将处理好的硅片置入空花篮中；其中，物料输入机构包括沿水平方向间隔布置的第一输入线和第二输入线；上下料装置还包括翻转机构，能够提取第二输入线输送的花篮中的待处理硅片，并将花篮翻转180°；如此，一方面，通过设置两组输入线，能够提高上料效率；另一方面，由于两组工作线最终供给的硅片面向不同，满足了特殊工艺的需要。

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