光学偏折检测方法、电子设备及光学偏折检测系统

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专利状态

光学偏折检测方法、电子设备及光学偏折检测系统

有效

专利申请进度

申请

2022-02-16

申请公布

2022-06-07

授权

2022-11-01

预估到期

2042-02-16

专利基础信息

申请号	CN202210185461.5	申请日	2022-02-16
申请公布号	CN114593693A	申请公布日	2022-06-07
授权公布号	CN114593693B	授权公告日	2022-11-01
分类号	G01B11/25
分类	测量；测试;
申请人名称	苏州英示测量科技有限公司
申请人地址	江苏省苏州市高新区向阳路80号

专利法律状态

2022-11-01

授权

状态信息

授权
2022-06-07

公布

状态信息

公布

摘要

本发明公开了一种光学偏折检测方法，包括步骤如下：搭建一光学偏折检测系统模型；设置参考面，对参考面进行光线追迹得到其在第一成像平面上的第一光斑点分布；设置系统结构误差，和一自由曲面作为被测面；对被测面进行光线追迹得到其在第二成像平面上的第二光斑点分布；根据第一光斑点分布和第二光斑点分布计算得到光斑点分布偏差；根据光斑点分布偏差计算得到被测面的表面斜率；搭建神经网络模型，通过将被测元件的表面斜率输入至神经网络模型，得到被测元件的面形。本发明能在精确重构面形的同时消除了系统结构误差的影响，为面形检测提供了一种高效率、高精度、高稳定性的方法。本发明还提供了使用上述方法的电子设备及光学偏折检测系统。

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