量测设备的对齐方法、装置及系统

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专利状态

量测设备的对齐方法、装置及系统

有效

专利申请进度

申请

2021-09-03

申请公布

2021-11-23

授权

2024-02-09

预估到期

2041-09-03

专利基础信息

申请号	CN202111033935.6	申请日	2021-09-03
申请公布号	CN113689478A	申请公布日	2021-11-23
授权公布号	CN113689478B	授权公告日	2024-02-09
分类号	G06T7/32;G06T7/70;G06V10/74
分类	计算；推算；计数;
申请人名称	凌云光技术股份有限公司
申请人地址	北京市海淀区翠湖南环路13号院7号楼7层701室

专利法律状态

2024-02-09

授权

状态信息

授权
2021-12-10

实质审查的生效

状态信息

实质审查的生效；IPC(主分类):G06T7/32；申请日:20210903
2021-11-23

公布

状态信息

公布

摘要

本发明实施例公开一种量测设备的对齐方法、装置及系统。该方法包括：获取样本的标准图像；根据标准图像，确定标准ROI的标准数据；基于同一量测设备，获取与多个样本一一对应的多个深度图像；确定每个深度图像中的一组备选ROI和各备选ROI的深度数据；计算不同深度图像中相关联的各备选ROI的深度数据与标准数据的方差之和，作为该相关联的各备选ROI对应的方差；根据各备选ROI对应的方差，将各组备选ROI中的一备选ROI确定为目标ROI；其中，各组备选ROI的目标ROI相关联；根据目标ROI的深度数据和标准数据，计算量测设备的对齐参数。如此，根据目标ROI的深度数据和标准ROI的标准数据可计算出量测设备的对齐参数，以利用对齐参数可以实现量测设备的快速对齐。

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