二维扫描装置及其驱动方法

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专利状态

二维扫描装置及其驱动方法

有效

专利申请进度

申请

2019-04-30

申请公布

2020-11-24

授权

2023-04-07

预估到期

2039-04-30

专利基础信息

申请号	CN202010710883.0	申请日	2019-04-30
申请公布号	CN111983623A	申请公布日	2020-11-24
授权公布号	CN111983623B	授权公告日	2023-04-07
分类号	G01S17/02;G01S7/481
分类	测量；测试;
申请人名称	上海禾赛科技有限公司
申请人地址	上海市嘉定区新徕路468号园区二号楼

专利法律状态

2023-04-07

授权

状态信息

授权
2020-11-24

公布

状态信息

公布

摘要

本发明提供了一种二维扫描装置及其驱动方法。所述二维扫描装置包括：扫描部及驱动部；扫描部包括扫描板、和沿第一轴线或第二轴线的方向延伸的多个扭转臂，所述第一轴线与所述第二轴线相垂直，多个扭转臂包括沿第一轴线延伸的第一扭转臂、沿第二轴线延伸的第二扭转臂、以及沿平行于第一轴线的方向延伸的第三扭转臂；驱动部适于通过驱动信号驱动扫描部，第一扭转臂、第二扭转臂和第三扭转臂适于在驱动信号的作用下分别以各自的工作频率振荡，其中，第二工作频率大于第一工作频率，且第三工作频率是第二工作频率的偶数倍，以使得扫描板对目标空间进行近似光栅式的二维扫描。

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