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专利状态

石英舟

有效

专利申请进度

申请

2022-07-29

授权

2023-05-16

预估到期

2032-07-29

专利基础信息

申请号	CN202221983274.3	申请日	2022-07-29
授权公布号	CN219040429U	授权公告日	2023-05-16
分类号	H01L21/673;H01L31/18
分类	基本电气元件;
申请人名称	天合光能股份有限公司
申请人地址	江苏省常州市新北区天合光伏产业园天合路2号

专利法律状态

2023-05-16

授权

状态信息

授权

摘要

本实用新型提供一种石英舟，包括：两个端板，该两个端板沿第一方向相对设置；至少两根上横杆，该至少两根上横杆沿第一方向延伸，至少两根上横杆设置在两个端板之间，至少两根上横杆沿第二方向相对的面上具有若干个沿第一方向依次排列的第一卡槽，第二方向与第一方向相交；至少一根下横杆，至少一根下横杆沿第一方向延伸，至少一根下横杆设置在两个端板之间且位于至少两根上横杆的下方，至少一根下横杆具有若干个沿第一方向依次排列的第二卡槽，每个第二卡槽内均设置有间隔片，间隔片将第二卡槽分割为两个第二子卡槽。本实用新型对第二卡槽进行间隔化处理，使相邻的硅片之间有足够的气体反应空间，有利于在硅片的表面形成均匀的扩散层或氧化层。

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