一种滚轮带液背腐蚀刻边装置

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专利状态

一种滚轮带液背腐蚀刻边装置

有效

专利申请进度

申请

2021-01-25

授权

2021-09-07

预估到期

2031-01-25

专利基础信息

申请号	CN202120197569.7	申请日	2021-01-25
授权公布号	CN214152864U	授权公告日	2021-09-07
分类号	H01L21/677;H01L21/306;H01L31/18
分类	基本电气元件;
申请人名称	中建材浚鑫科技有限公司
申请人地址	江苏省无锡市江阴市申港镇镇澄路1011号

专利法律状态

2021-09-07

授权

状态信息

授权

摘要

本实用新型公开了一种滚轮带液背腐蚀刻边装置，包括硅片输送机和顶部敞口的刻蚀槽，硅片输送机包括驱动组件和多个并排分布于刻蚀槽内的滚轮，驱动组件驱动滚轮沿相同方向转动，滚轮为漂浮滚轮，漂浮的滚轮上部抵接设置有下压件，漂浮的滚轮组成水平的硅片输送面。该滚轮带液背腐蚀刻边装置通过将滚轮漂浮在刻蚀槽的刻蚀液液面上，并利用下压件作用于滚轮上部，保证滚轮形成水平的硅片传输面，从而实现硅片稳定的传输和可靠的背面刻蚀；此外，该装置无需安装感应器，进一步保证了刻蚀的可靠性并降低了成本。

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