一种硅片RIE制绒后的处理方法

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专利状态

一种硅片RIE制绒后的处理方法

有效

专利申请进度

申请

2013-05-17

申请公布

2013-09-04

授权

2016-08-10

预估到期

2033-05-17

专利基础信息

申请号	CN201310188957.9	申请日	2013-05-17
申请公布号	CN103280396A	申请公布日	2013-09-04
授权公布号	CN103280396B	授权公告日	2016-08-10
分类号	H01L21/02
分类	基本电气元件;
申请人名称	浙江正泰太阳能科技有限公司
申请人地址	浙江省嘉兴市海宁市尖山新区吉盛路1号

专利法律状态

2024-01-02

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

状态信息

专利权人的姓名或者名称、地址的变更；IPC(主分类):H01L 21/02；专利号:ZL2013101889579；变更事项:专利权人；变更前:正泰新能科技有限公司；变更后:正泰新能科技股份有限公司；变更事项:地址；变更前:314417 浙江省嘉兴市海宁市尖山新区吉盛路1号；变更后:314417 浙江省嘉兴市海宁市尖山新区吉盛路1号
2022-06-24

专利申请权、专利权的转移

状态信息

专利权的转移；IPC(主分类):H01L21/02；登记生效日:20220610；变更事项:专利权人；变更前:浙江正泰太阳能科技有限公司；变更后:正泰新能科技有限公司；变更事项:地址；变更前:310053 浙江省杭州市滨江区滨安路1335号；变更后:314417 浙江省嘉兴市海宁市尖山新区吉盛路1号
2016-08-10

授权

状态信息

授权
2013-10-09

实质审查的生效

状态信息

实质审查的生效；IPC(主分类):H01L21/02；申请日:20130517
2013-09-04

公布

状态信息

公布

摘要

本发明公开了一种硅片RIE制绒后的处理方法，包括如下步骤：对RIE制绒后的硅片进行水洗；采用第一酸性溶液对所述硅片进行第一次酸性清洗；对所述硅片进行水洗；采用第二酸性溶液对所述硅片进行第二次酸性清洗；对所述硅片进行水洗；对所述硅片进行喷淋；对所述硅片进行热水慢拉；对所述硅片进行烘干和/或甩干。采用本发明的方法对RIE制绒后的硅片进行处理可以在不增加额外化学物质的情况下，高效去除硅片表面制绒后的反应残留物质，提高后续产品的合格率。

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