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专利状态
单晶太阳能电池制备设备
有效
专利申请进度
申请
2023-11-28
申请公布
2023-12-29
授权
2024-03-01
预估到期
2043-11-28
专利基础信息
申请号
CN202311598404.0
申请日
2023-11-28
申请公布号
CN117317065A
申请公布日
2023-12-29
授权公布号
CN117317065B
授权公告日
2024-03-01
分类号
H01L31/18;H01L21/268
分类
基本电气元件;
申请人名称
苏州腾晖光伏技术有限公司
申请人地址
江苏省苏州市常熟市沙家浜镇常昆工业园区腾晖路1号
专利法律状态
2024-03-01
授权
状态信息
授权
2024-01-16
实质审查的生效
状态信息
实质审查的生效;IPC(主分类):H01L31/18;申请日:20231128
2023-12-29
公布
状态信息
公布
摘要
本申请涉及太阳能电池领域,具体涉及单晶太阳能电池制备,提供一种单晶太阳能电池制备设备,其使用激光设备进行PN结以及选择性发射极的制备,避免使用气相的扩散炉,通过激光的方式,在同一步骤内,形成掺杂的PN结的同时,形成对应选择性发射极位置的重掺杂区,本申请通过激光处理形成PN结和选择性发射极,激光处理包括两种能量的激光,一种激光能量用于扩散形成PN结,使用另外一种激光能量形成重掺杂区域,对应栅线区域形成选择性发射极,该方法中无需使用气体扩散炉,并且通过在一个激光处理腔室内形成电池片结构PN结及重掺杂区,进一步地通过化学气相沉积制备一层,使相关掺杂效率更高。
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