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专利状态
基于机器人的光刻装置和光刻方法
有效
专利申请进度
申请
2021-10-21
申请公布
2021-12-14
授权
2023-11-03
预估到期
2041-10-21
专利基础信息
申请号
CN202111230123.0
申请日
2021-10-21
申请公布号
CN113791528A
申请公布日
2021-12-14
授权公布号
CN113791528B
授权公告日
2023-11-03
分类号
G03F9/00
分类
摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术〔4〕;
申请人名称
深圳市银宝山新科技股份有限公司
申请人地址
广东省深圳市南山区南海大道3688号
专利法律状态
2023-11-03
授权
状态信息
授权
2021-12-31
实质审查的生效
状态信息
实质审查的生效;IPC(主分类):G03F9/00;申请日:20211021
2021-12-14
公布
状态信息
公布
摘要
一种基于机器人的光刻装置和光刻方法,该光刻装置包括机器人、光源和工作台,机器人具有至少两个方向的自由度,且机器人与工作台相对;光源和待曝光工件的其中一者设置于机器人,另一者设置于工作台;机器人用于根据待曝光工件的形状在至少一个方向上运动,以使光源对待曝光工件进行多个区域的曝光。在光刻时,机器人可以带动光源和待曝光工件中的一者相对另一者移动,以使得光源能对待曝光工件的不同区域分别进行曝光,使得具有复杂多变的结构和形状的待曝光工件也可以进行良好的曝光,能实时调整光源和待曝光工件的相对位置,对于复杂结构和外形的工件也能够满足光刻需求。
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