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专利状态
光刻机外围设备集成监测系统及监测方法
有效
专利申请进度
申请
2021-05-24
申请公布
2021-09-17
授权
2022-10-28
预估到期
2041-05-24
专利基础信息
申请号 CN202110566978.4 申请日 2021-05-24
申请公布号 CN113406864A 申请公布日 2021-09-17
授权公布号 CN113406864B 授权公告日 2022-10-28
分类号 G03F7/20;G01D21/02
分类 摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术〔4〕;
申请人名称 上海顺灏新材料科技股份有限公司
申请人地址 上海市普陀区真陈路200号
专利法律状态
  • 2022-10-28
    授权
    状态信息
    授权
  • 2021-09-17
    公布
    状态信息
    公布
摘要
本发明公开了一种光刻机外围设备集成监测系统,包括:监控PLC、网络连接装置、车间空调系统、空压机、UPS、通讯模块、触摸屏和远程终端,所述监控PLC采集所述车间空调系统、空压机和UPS的运行参数,监测运行状态;所述监控PLC、所述通讯模块和所述触摸屏通过所述网络连接装置进行通信;所述远程终端通过互联网与所述通讯模块进行通信。本发明对各个设备运行状态采集和监控,并实时显示。本发明还公开了光刻机外围设备集成监测系统的监测方法。