一种用于光刻机净化车间的净化装置

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专利状态

一种用于光刻机净化车间的净化装置

有效

专利申请进度

申请

2021-12-23

授权

2022-07-05

预估到期

2031-12-23

专利基础信息

申请号	CN202123271504.1	申请日	2021-12-23
授权公布号	CN216901324U	授权公告日	2022-07-05
分类号	G03F7/20
分类	摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕;
申请人名称	上海顺灏新材料科技股份有限公司
申请人地址	上海市普陀区真陈路200号

专利法律状态

2022-07-05

授权

状态信息

授权

摘要

本实用新型公开了一种用于光刻机净化车间的净化装置，连接光刻机，包括：无油空压机；设置在所述无油空压机后面的第一储气罐；设置在所述第一储气罐后面，用于干燥压缩空气的冷干机；设置在所述冷干机后面，用于去除压缩空气中水分的吸干机；设置在所述吸干机后面，用于对压缩空气进行热交换的热交换器；设置在所述热交换器后面，用于储存热交换后的压缩空气的第二储气罐；连通所述第二储气罐和光刻机二合一管路。本实用新型能够有效解决净化车间内不可见微粒、极小灰尘净化的问题。

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