• 热门行业
  • 装修建材
  • 家居生活
  • 餐饮食品
  • 母婴教育
  • 电脑办公
  • 服装首饰
  • 汽车工具
  • 家电数码
  • 机械化工
  • 休闲美容
返回上一页
专利状态
多膜层连续镀膜设备
有效
专利申请进度
申请
2018-06-29
授权
2018-11-09
预估到期
2028-06-29
专利基础信息
申请号 CN201821019860.X 申请日 2018-06-29
授权公布号 CN208071804U 授权公告日 2018-11-09
分类号 C23C14/35;C23C14/56;C23C14/50
分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
申请人名称 肇庆市科润真空设备有限公司
申请人地址 广东省肇庆市端州大道
专利法律状态
  • 2018-11-09
    授权
    状态信息
    授权
摘要
本实用新型公开一种多膜层连续镀膜设备,包括依次连接的表面处理室、多膜层镀膜室和出片真空室,各真空室内均设有工件往复移动机构;工件往复移动机构设于基片架下方,基片架上方设有磁导向机构,工件往复移动机构中的主动驱动托轮和从动支承轮分别设于真空室内的安装支架上,相邻的两个主动驱动托轮之间分布有多个从动支承轮,在主动驱动托轮的带动下,基片架沿从动支承轮和磁导向机构进行往复移动。其方法是工件往复移动机构带动基片架及工件在表面处理室内往复移动进行多次表面粗化和清洁处理;然后在多膜层镀膜室内往复移动,实现多膜层镀膜;最后从出片真空室将工件送出。本实用新型可有效简化设备结构,提高镀膜效率和膜层均匀度。