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专利状态
化学气相沉积设备的工件装卡工具
失效
专利申请进度
申请
2013-12-24
授权
2014-06-18
预估到期
2023-12-24
专利基础信息
申请号 CN201320854874.4 申请日 2013-12-24
授权公布号 CN203653693U 授权公告日 2014-06-18
分类号 C23C16/458
分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
申请人名称 成都工具研究所有限公司
申请人地址 四川省成都市新都区工业大道东段601号
专利法律状态
  • 2024-01-09
    专利权的终止
    状态信息
    专利权有效期届满;IPC(主分类):C23C 16/458;专利号:ZL2013208548744;申请日:20131224;授权公告日:20140618;终止日期:
  • 2014-06-18
    授权
    状态信息
    授权
摘要
本实用新型为化学气相沉积设备的工件装卡工具,解决现有装卡工具装卡工件大小受限、工件与舟皿接触面的接触痕迹明显以及部分工件遮挡舟皿通孔,阻碍反应炉内气体的流动,导致反应炉内各工件的涂层厚度和颜色不均匀的问题,由正棱锥体或圆锥体与同轴的位于正棱锥体或圆锥体下面的柱体组成,柱体的直径小于舟皿的孔径和正棱锥体下面正多边形的轴长或圆锥体下面圆的直径,或者为底面为长方形的等腰楔形体,楔形体的顶部为锯齿形,锯齿齿尖截面为等腰或等边三角形,锯齿其它部分截面为等腰梯形。等腰楔形体至少为两个。