用于实时校正导电材料层厚度的镀覆系统及元件载体

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专利状态

用于实时校正导电材料层厚度的镀覆系统及元件载体

有效

专利申请进度

申请

2016-01-29

授权

2017-01-18

预估到期

2026-01-29

专利基础信息

申请号	CN201620095591.X	申请日	2016-01-29
授权公布号	CN205893446U	授权公告日	2017-01-18
分类号	C25D21/12;G01B15/02
分类	电解或电泳工艺；其所用设备〔4〕;
申请人名称	奥特斯（中国）有限公司
申请人地址	上海市闵行区莘庄工业园金都路5000号

专利法律状态

2017-01-18

授权

状态信息

授权

摘要

一种镀覆系统(100)，用于镀覆导电材料(120)到元件载体(110)的预成形件表面(111a)。镀覆系统(100)包括第一镀覆区域(130)，配置为预镀覆第一部分导电材料(121)到元件载体(110)的预成形件表面(111a)。镀覆系统(100)还包括第二镀覆区域(140)，配置为另外镀覆第二部分导电材料(122)到元件载体(110)的预成形件预镀覆表面(111a)。镀覆系统还包括检测单元(150)，配置为检测指示镀覆在第一镀覆区域(130)中的元件载体(110)的各个预成形件表面部分(111a)上的第一部分导电材料(121)的数量的信息(151)。此外，镀覆系统包括控制单元(160)，配置为根据检测信息(151)控制第二镀覆区域(140)镀覆适量的第二部分导电材料(122)到各个预镀覆表面部分(111b)。

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