对准标记的边缘锐度评估_专利查询-品牌网

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专利状态

对准标记的边缘锐度评估

有效

专利申请进度

申请

2018-01-04

申请公布

2019-04-02

授权

2020-07-03

预估到期

2038-01-04

专利基础信息

申请号	CN201810008145.4	申请日	2018-01-04
申请公布号	CN109556509A	申请公布日	2019-04-02
授权公布号	CN109556509B	授权公告日	2020-07-03
分类号	G01B11/00
分类	测量；测试;
申请人名称	奥特斯（中国）有限公司
申请人地址	上海市闵行区莘庄工业区金都路5000号

专利法律状态

2020-07-03

授权

状态信息

授权
2019-04-26

实质审查的生效

状态信息

实质审查的生效IPC(主分类):G01B 11/00
2019-04-02

公布

状态信息

公开

摘要

一种用于在部件载体(102)的制造期间分析对准精度的装置(100)，其中，装置(100)包括：评估单元(104)，其被配置成对从制造中的部件载体(102)的预成形体(110)上的至少一个对准标记(108)的至少部分检测到的图像数据上的至少一个对准标记(108)的边缘(106)的至少部分的边缘锐度进行评估；以及决策单元(112)，其被配置成基于所评估的边缘锐度决定是否接受预成形体(110)进行进一步处理。

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