一种具备智能监控功能的蚀刻液回收系统

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专利状态

一种具备智能监控功能的蚀刻液回收系统

有效

专利申请进度

申请

2017-01-06

授权

2017-09-05

预估到期

2027-01-06

专利基础信息

申请号	CN201720014159.8	申请日	2017-01-06
授权公布号	CN206470585U	授权公告日	2017-09-05
分类号	G05B19/05;C23F1/46
分类	控制；调节;
申请人名称	北京彩讯科技股份有限公司
申请人地址	北京市海淀区东北旺西路8号中关村软件园8号楼301室

专利法律状态

2017-09-05

授权

状态信息

授权

摘要

本实用新型涉及一种具备智能监控功能的蚀刻液回收系统，包括：PLC分别与液位传感器、水泵、网路交换机、气体浓度检测主机、温度传感器、流量计、抽风机一、抽风机二电连接，网路交换机分别与气体浓度检测主机、网络摄像机、本地监控电脑和远程监控电脑电连接，气体浓度检测主机分别与气体浓度传感器电连接，蚀刻机与废液收集槽连通，所述废液收集槽与废液收集罐连通，废液收集罐与流量计连通，流量计与调整槽连通，调整槽与电解槽连通，电解槽与再生液罐连通，电解槽还通过抽风机一与废气塔连通，再生液罐与调药罐连通，调药罐与再生子液罐连通，再生子液罐与蚀刻机连通，本实用新型能自动监控；能远程诊断，节约维修时间，减少经济损失。

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