高精度线纹标尺精度检测校准系统

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专利状态

高精度线纹标尺精度检测校准系统

有效

专利申请进度

申请

2020-10-21

授权

2021-04-20

预估到期

2030-10-21

专利基础信息

申请号	CN202022358899.8	申请日	2020-10-21
授权公布号	CN213021506U	授权公告日	2021-04-20
分类号	G01B21/04;G01B11/00
分类	测量；测试;
申请人名称	贵阳新天光电科技有限公司
申请人地址	贵州省贵阳市乌当区新光路9号

专利法律状态

2021-04-20

授权

状态信息

授权

摘要

本实用新型涉及计量检测校准技术领域，且公开了一种高精度线纹标尺精度检测校准系统，包括光电显微光学图与线纹检测系统图，所述光电显微光学图包括有光源、聚光镜组、线纹标尺、物镜、分光棱镜、滤色片、分划板、CCD组件、光学扫描装置、狭缝、光电管；所述线纹检测系统图包括有精密级丝杆、接近开关组。该高精度线纹标尺精度检测校准系统，通过设置有物镜、CCD组件与激光干涉仪等达到校准精准的目的，本实用新型发明采用包括高精密丝杆、减速机构、光电显微镜及高清晰CCD组件、精密调节机构、环境空间梯度检测、精密伺服采集控制系统（控制原理框图），其中优化的光电显微镜光路结构，使得本发明专利可以实现更高精度等级的线纹校准。

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