MEMS声音传感器、MEMS麦克风及电子设备

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专利状态

MEMS声音传感器、MEMS麦克风及电子设备

有效

专利申请进度

申请

2018-12-29

申请公布

2019-12-13

授权

2021-04-27

预估到期

2038-12-29

专利基础信息

申请号	CN201880026720.1	申请日	2018-12-29
申请公布号	CN110574397A	申请公布日	2019-12-13
授权公布号	CN110574397B	授权公告日	2021-04-27
分类号	H04R19/04
分类	电通信技术;
申请人名称	共达电声股份有限公司
申请人地址	山东省潍坊市坊子区凤山路68号

专利法律状态

2021-04-27

授权

状态信息

授权
2020-01-07

实质审查的生效

状态信息

实质审查的生效
2019-12-13

公布

状态信息

公布

摘要

一种MEMS声音传感器，用于通过空气声压变化和机械振动中的至少一种来检测声音，MEMS声音传感器包括：基板，基板上形成有背洞；背板，设置于基板上方，且部分区域被所述背洞所裸露；振膜，与背板相对设置且与背板之间存在间隙；振膜与背板构成电容结构；以及连接柱，包括相对设置的第一端和第二端；连接柱的第一端与振膜的中间区域电性连接；连接柱的第二端与背板固定连接；以将振膜固定支撑在背板上；其中，振膜的边缘区域设置有至少一个质量块；质量块与背板之间存在间隙。

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