一种晶硅太阳能电池石墨舟预处理方法

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专利状态

一种晶硅太阳能电池石墨舟预处理方法

有效

专利申请进度

申请

2018-01-15

申请公布

2018-09-28

授权

2020-05-01

预估到期

2038-01-15

专利基础信息

申请号	CN201810037001.1	申请日	2018-01-15
申请公布号	CN108598211A	申请公布日	2018-09-28
授权公布号	CN108598211B	授权公告日	2020-05-01
分类号	H01L31/18;H01L21/673
分类	基本电气元件;
申请人名称	无锡尚德太阳能电力有限公司
申请人地址	江苏省无锡市新吴区新华路9号、16号

专利法律状态

2020-10-27

专利申请权、专利权的转移

状态信息

专利权的转移；IPC(主分类):H01L 31/18；专利号:ZL2018100370011；登记生效日:20201010；变更事项:专利权人；变更前权利人:洛阳尚德太阳能电力有限公司；变更后权利人:无锡尚德太阳能电力有限公司；变更事项:地址；变更前权利人:471003 河南省洛阳市中国(河南)自由贸易试验区洛阳片区高新技术产业开发区华夏路；变更后权利人:214028 江苏省无锡市新吴区新华路9号、16号
2020-05-01

授权

状态信息

授权
2018-10-26

实质审查的生效

状态信息

实质审查的生效；IPC(主分类):H01L 31/18；专利申请号:2018100370011；申请日:20180115
2018-09-28

发明专利申请公布

状态信息

公布

摘要

本发明公开了一种晶硅太阳能电池石墨舟预处理方法，将相邻石墨舟片上对应的每对定位卡点均用陶瓷环套住，然后将石墨舟放入PEVCD设备上舟区域，进行第一遍预处理；第一遍预处理结束后，将石墨舟上的螺母松开，使用手指拨动两片相邻的石墨舟片，石墨舟片之间间距增大，陶瓷环自动掉落，再将螺母拧紧，将石墨舟放入PEVCD设备上舟区域，运行第二遍预处理工艺；第二遍预处理工艺分两步进行，两步工艺的参数不同。本发明的预处理方法使石墨舟在特定条件下，卡点仅进行一遍预沉积，石墨舟其它部位进行两遍预沉积，预处理后的石墨舟承载硅片镀膜，减少了硅片色差的产生，提高了整体镀膜的均匀性，且降低了处理成本，更易推广使用。

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