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专利状态

一种旋涂系统

有效

专利申请进度

申请

2023-06-05

授权

2024-03-01

预估到期

2033-06-05

专利基础信息

申请号	CN202321413284.8	申请日	2023-06-05
授权公布号	CN220547205U	授权公告日	2024-03-01
分类号	B05C13/00;B05C11/08
分类	一般喷射或雾化；对表面涂覆液体或其他流体的一般方法〔2〕;
申请人名称	TCL科技集团股份有限公司
申请人地址	广东省惠州市仲恺高新区惠风三路17号TCL科技大厦

专利法律状态

2024-03-01

授权

状态信息

授权

摘要

本申请提供一种旋涂系统，涉及自动化设备技术领域。旋涂系统包括基板转移装置和旋涂装置。旋涂装置设有旋涂工位，配置为在所述旋涂工位上的所述基板上旋涂胶液；所述基板转移装置包括抓取机构和移动机构，所述抓取机构包括定位机构以及基板吸盘，所述定位机构可活动的设置在所述基板吸盘的外周，用于调整所述基板的位置，所述基板吸盘抓取所述基板；所述移动机构用于驱动所述抓取机构移动以使所述基板移动至所述旋涂工位。通过定位机构调整基板的位置，基板吸盘抓取基板，以及移动机构驱动抓取机构移动以使所述基板移动至所述旋涂工位，使基板放置到旋涂装置的旋涂工位的工序实现自动化，从而提高器件生产效率和良品率。

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